膜厚測量 | 反射式膜厚測量儀
01
反射式膜厚測量工作原理
入射到樣品表面的光經薄膜上下表面多次干涉后從樣品表面出射,經過光譜儀的采集,得到出射光光強,出射光光強與入射光光強之比值即為薄膜的反射率(),此反射率表現為波長的函數,得到反射率曲線。
02
反射式膜厚儀應用領域
可測量如4-12英寸的晶圓及其他各種不規(guī)則形狀樣品;
(文章來源于儀器網)
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反射式膜厚測量工作原理
入射到樣品表面的光經薄膜上下表面多次干涉后從樣品表面出射,經過光譜儀的采集,得到出射光光強,出射光光強與入射光光強之比值即為薄膜的反射率(),此反射率表現為波長的函數,得到反射率曲線。
02
反射式膜厚儀應用領域
可測量如4-12英寸的晶圓及其他各種不規(guī)則形狀樣品;
(文章來源于儀器網)