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膜厚測量 | 反射式膜厚測量儀

2024-05-21 09:50:26

光譜反射式膜厚、折射率測量儀器是***種利用光譜反射原理來測量薄膜厚度和折射率的設備。反射測量是通過分析從單層或多層薄膜結構反射回來的光強變化,來確定薄膜的厚度。在這個過程中,入射光以垂直的角度照射到樣品表面。由于界面之間的干涉效應,反射光譜會發(fā)生變化,這些變化可以用來計算薄膜的厚度,無論是在透明、部分透明還是完全反射的基板上。

01

反射式膜厚測量工作原理




入射到樣品表面的光經薄膜上下表面多次干涉后從樣品表面出射,經過光譜儀的采集,得到出射光光強,出射光光強與入射光光強之比值即為薄膜的反射率(),此反射率表現為波長的函數,得到反射率曲線。

02

反射式膜厚儀應用領域




廣泛應用于半導體制造、平板顯示、光學鍍膜、太陽能電池等。
中,反射式膜厚測量儀可以用于測量晶圓上的薄膜厚度,如二氧化硅、氮化硅等,以確保半導體器件的性能和可靠性。
中,反射式膜厚測量儀可以用于測量液晶顯示器、有機發(fā)光二極管等的薄膜厚度,以確保顯示效果和質量。
中,反射式膜厚測量儀可以用于測量光學鏡片、濾光片等的薄膜厚度,以確保光學性能和質量。
中,反射式膜厚測量儀可以用于測量太陽能電池板上的薄膜厚度,如氮化硅、氧化鋁等,以確保太陽能電池的效率和可靠性。
晶諾微 Quasar R100是***款體積小巧的光譜反射式膜厚、折射率測量儀器,操作簡單,極易上手。Quasar R100軟件還擁有豐富的的材料數據庫,客戶還可以通過軟件及自帶數據庫對材料,菜單進行管理,并具有豐富的數據查看、統(tǒng)計功能。

可測量如4-12英寸的晶圓及其他各種不規(guī)則形狀樣品;

b.測量精度和穩(wěn)定性高:可測量材料厚度、折射率、吸收系數和反射率等;
d.操作簡單且功能豐富:產品規(guī)格:



(文章來源于儀器網)

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